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半導体製造装置向けシャワープレート
業界 | 半導体 |
加工内容 | 微細穴加工 |
精度・公差 | ±0.01mm |
穴径×穴数 | 段穴加工(Φ1.0×Φ0.5) 2000穴 |
穴深さ | 25mm |
材質 | アルミ |
ロット | 1枚~ |
納期 | 14日 |
半導体製造装置向けシャワープレートの概要
この微細穴加工品は、半導体製造の前工程で使用されるシャワープレートです。半導体に均一に気体を噴射させる必要があるため、微細穴加工においてもシビアな管理が求められます。
まず微細穴については、入口Φ1.0・出口Φ0.5の段穴加工が2000穴施されております。これの加工に際してはまずマシニング自体の加工位置精度がしっかり出ていることが求められる上、Φ1.0とΦ0.5の穴加工はそれぞれ表と裏から加工する必要があり、反転させチャッキングする際にズレなく位置決めを行えるかがポイントになります。さらにこのシャワープレートはΦ450あるため十分なテーブルサイズも必要です。
その点、微細加工ドットコムを運営する中川製作所では、碌々産業製超高精度高速微細加工機Androidを保有していることに加え、高い段取り技術がありますので、Φ1.0・Φ0.5を裏表から加工しても高い同軸度を実現することが可能です。微細穴加工なら中川製作所にお任せください。
微細穴加工 事例一覧
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ホトベール 微細穴加工(段穴加工)
材質:ホトベール
穴径:①φ0.28 +0.01, 0 × 2.6 ②φ0.14 +0.01, 0 × 0.4
穴数:1000個
穴位置精度:±0.005 -
アルミ(A5052) 微細溝加工
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真鍮(黄銅) 微細穴加工
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A5052 高精度穴加工
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A5052 小径穴加工(2万穴)
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SUS303 小径穴加工
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Peek 微細深穴加工
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ステンレス 微細穴加工
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A5052 マシニング加工(制御プレート)
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銅 マシニング加工
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A5052 精密マシニング
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トップファイン 微細穴加工
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チタン 微細穴加工
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微細溝加工品(a5052)
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テーパー穴加工品(A5052)
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微細溝加工品(A5052)
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クロス穴加工品(A6061)
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無酸素銅 微細穴加工
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A6061 微細穴加工(3000穴)
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SUS304 R面取り
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A5052 流路
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SUS303 微細穴加工
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アルミ 精密マシニング加工
材質:アルミ
特記事項:ワークサイズ大きいため外径加工に関して#40マシンぐセンタ を使用。工具で傷が付かないように穴の入口にR0.5の面取り加工がされている -
アクリル 微細穴加工
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アルミ(A6061)微細穴加工(φ1.5)
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無酸素銅 微細穴加工
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六角穴 微細加工品
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半導体製造装置向けシャワープレート
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小径穴加工(テーパー穴×内面仕上げ加工)
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真鍮 φ0.03 微細穴加工
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スミカスーパー φ0.045×50穴
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斜め穴連続加工
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微細穴加工(バリレス加工)
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アルミダイキャストへの極小ポケット加工
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精密マシニング加工プレート(A5052、±0.02mm)
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PPS微細・精密加工品
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高精度アルミプレート加工(平面度0.03)
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アルミベースプレート(平面度0.03mm)
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アルミプレート(試験管スタンド)
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アルミ精密加工品(装置部品)
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アルミ精密マシニング加工プレート
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窒化珪素(Si3N4) 微細加工
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アルミ微細溝加工 W0.33×d0.35×L50 150溝
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SUS304 φ0.5 × 深さ25mm × 100穴
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マシナブルセラミックス φ0.02×100穴
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SUS304 φ0.1 × 深さ5mm × 100穴
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アルミナ微細穴加工 φ0.08×1000穴
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ホトベールⅡS φ0.04×2,000穴
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SK3 φ0.9×2500穴
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スミカスーパー φ0.55×121穴
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マシナブルセラミックス φ0.1×100穴
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チタン φ0.02×100穴
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マシナブルセラミックス 微細穴加工 φ0.3×6,000穴
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SK3 φ0.2×深さ5
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アルミA5052 φ5×2,000穴
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PES 微細穴加工 φ0.25mm×250穴
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SUS304 微細穴加工 φ0.03mm(30μm)×1穴
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テフロン φ0.15×900穴
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純チタン φ0.5×2mm 細穴加工
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64チタン(Ti-6Al-4V) 微細ネジ切り・長穴加工
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純チタン2種(TP340) 微細加工
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トップファイン R8220 φ0.04mm×1,500穴
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アルミナ(ファインセラミックス)φ0.125mm微細穴加工