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2018年5月07日 - 微細加工
微細加工における測定について

測定に用いられる道具には、ノギスやマイクロメーター、投影機などがあります。
ノギスは測りたいものを容易に測定することができ、5/100mmまで測定することが可能です。また、マイクロメーターは、ノギスよりも精度が求められるものを測定することができ、1/100mmまで測ることができます。しかしながら、100μm以下の微細な穴が多数存在する微細加工においては、ノギスやマイクロメーターでは計測機器が入らず測定することができません。したがって、微細加工に対応した測定器を使用します。その際、周りの測定環境も整える必要があります。
穴径が小さければ小さいほど、測定時に温度に影響されるため、周囲の温度管理を整えなければなりません。加工したものをすぐに測定せずに、恒温室で一日寝かし、製品全体の温度を一定に整えてから測定します。特に樹脂の場合、温度管理はもちろんのこと、湿度管理も欠かせないので、デシケーター内で一日寝かせて温度や湿度を一定に整えた後、測定を開始します。
その他にも、微細加工を施す上で、工場内には様々な工夫が施されています。例えば、加工現場内は、装置の稼動により振動が伝わりやすい環境にあります。測定の際には、床から振動が伝わらないよう仕切られた振動が伝わりにくい場所で行い、測定による振動の影響を極力減らすようにしています。また、測定時に光を当てすぎると、実際の穴径との誤差が大きくなりやすいので、必ず光量調整を行ってから測定を始めます。