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微細加工品の外観検査について

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2018年5月07日 - 微細加工
微細加工品の外観検査について

マシニングセンタなどで金属や樹脂の切削を行ったあとには、規定の仕様で製作されているかどうかを確認するために検査が行われます。寸法検査を行った後には、バリ・キズ・打痕がないか等、目視で確認する検査が一般的ですが、たとえば100μ以下の微細加工においては肉眼で確認することは困難です。従って、ルーペや拡大鏡、それでも確認できない場合は顕微鏡・電子顕微鏡などを使用して確認します。
寸法検査とは違い、バリなどは検査者によって判断基準が大きく違ってしまうことが多い為、検査基準を一定レベルに保つための限度見本を作成し、微細加工品とを比較して判定します。なお、厳しい条件が求められる製品に関しては、限度見本を複数作成し、加工を担当する会社・発注する会社で保有することがあります。
ところで、微細加工においては、加工条件（回転速度、送りスピードなど）が加工品質に大きく影響してきます。加工条件がその材質に合っていないと微細加工を行った表面が著しく粗くなることがあります。そのような場合は、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）を用いてカットマーク（カット面）を確認し、加工条件を最適化するための手法として活用します。さらに、カットマーク（カット面）を確認し加工条件を最適化することは、刃物の寿命を延ばすことに繋がり、最終的には安定した連続加工が実現できる上、コストダウンにも貢献します。