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窒化珪素(Si3N4) 微細加工
業界 | 電子・半導体 |
加工内容 | 微細穴加工 |
精度・公差 | 穴位置公差 ±0.003mm |
穴径×穴数 | φ0.05mm×9穴 |
穴深さ | 0.4mm アスペクト比8倍 |
材質 | 窒化珪素(Si3N4) |
ロット | 1枚 |
納期 | 2週間 |
窒化珪素(Si3N4) 微細加工の概要
今回ご紹介する微細加工品は、厚み0.4mm(400μm)の窒化珪素(Si3N4)に対して、φ0.05mm(50μm)の微細穴あけ加工を行ったものです。
窒化珪素(Si3N4)はファインセラミクスの一種であり、ほかのセラミックスと同様に熱膨張率が低いという特性がありますが、この窒化珪素は他のファインセラミックスに比べても熱膨張率が大変低いという特徴をもった素材です。さらに耐熱衝撃性にも優れており、高温下でも強度が低下しません。
微細加工ドットコムを運営する中川製作所では、φ0.04㎜~φ2.0mmの微細穴加工を、材料厚みに対して最大で10倍の深さの加工ができることが特徴です。さらに穴あけ精度は±0.003㎜での対応が可能となっております。
今後はこのファインセラミックスに対して、円形状だけでなく、楕円形状、四角形状の微細穴あけにも挑戦し、耐熱性、電気絶縁性がさらに求められる半導体・電子部品関連の治具などのご要望に応えて参ります。
微細穴加工 事例一覧
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ホトベール 微細穴加工(段穴加工)
材質:ホトベール
穴径:①φ0.28 +0.01, 0 × 2.6 ②φ0.14 +0.01, 0 × 0.4
穴数:1000個
穴位置精度:±0.005 -
真鍮(黄銅) 微細穴加工
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ジルコニア(焼成後)マシニング加工
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A5052 小径穴加工(2万穴)
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SUS303 小径穴加工
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Peek 微細深穴加工
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ステンレス 微細穴加工
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銅 マシニング加工
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トップファイン 微細穴加工
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チタン 微細穴加工
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無酸素銅 微細穴加工
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A6061 微細穴加工(3000穴)
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SUS304 R面取り
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SUS303 微細穴加工
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アクリル 微細穴加工
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アルミ(A6061)微細穴加工(φ1.5)
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無酸素銅 微細穴加工
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六角穴 微細加工品
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半導体製造装置向けシャワープレート
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小径穴加工(テーパー穴×内面仕上げ加工)
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真鍮 φ0.03 微細穴加工
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スミカスーパー φ0.045×50穴
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斜め穴連続加工
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ジルコニア微細加工 □0.05
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微細穴加工(バリレス加工)
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PPS微細・精密加工品
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窒化珪素(Si3N4) 微細加工
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SUS304 φ0.5 × 深さ25mm × 100穴
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マシナブルセラミックス φ0.02×100穴
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SUS304 φ0.1 × 深さ5mm × 100穴
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アルミナ微細穴加工 φ0.08×1000穴
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ホトベールⅡS φ0.04×2,000穴
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SK3 φ0.9×2500穴
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スミカスーパー φ0.55×121穴
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マシナブルセラミックス φ0.1×100穴
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チタン φ0.02×100穴
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マシナブルセラミックス 微細穴加工 φ0.3×6,000穴
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SK3 φ0.2×深さ5
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アルミA5052 φ5×2,000穴
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PES 微細穴加工 φ0.25mm×250穴
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SUS304 微細穴加工 φ0.03mm(30μm)×1穴
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テフロン φ0.15×900穴
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純チタン φ0.5×2mm 細穴加工
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64チタン(Ti-6Al-4V) 微細ネジ切り・長穴加工
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純チタン2種(TP340) 微細加工
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トップファイン R8220 φ0.04mm×1,500穴
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アルミナ(ファインセラミックス)φ0.125mm微細穴加工