リニア駆動方式とは、マシニングセンタなどの工作機械の加工精度を大きく作用するもので、微細加工するワークを固定するテーブルや主軸を動かす送り機構の方式の１つです。微細加工ドットコムが保有する高精度な微細加工機にはこのリニア駆動方式が採用されておりますが、従来の微細加工機や一般的なマシはボールねじという方式が採用されております。リニア駆動方式は理論上、バックラッシュが発生しないため、ミクロン単位の高精度な加工が必要な微細加工に有利な機構といえます。
微細加工 技術コラム
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