微細加工における加工精度・品質を確保するためには、前述の「微細加工機」に加えてそれを安定的に加工するための環境を提供する「無窓恒温室」が必要であることを述べました。しかし、これだけでは微細加工を行ったものの「精度保証」することは、実はできません。目では判断できない微細加工の精度保証を行うには、必ず信頼のおける画像測定を行うことが不可欠です。

こうした課題に対処するため、微細加工ドットコムでは、Z軸に対して1.5＋4L/1000μmまでの高精度測定が可能な、ミツトヨ製の高精度CNC画像測定機「QV-APEX404」を、23℃±0.5℃という徹底的に温度管理がなされた無窓恒温室内に設置し、微細加工時と同じ温度状態での測定が行えるようにしています。

通常の工作機械による切削加工では見逃されがちなことでも、ミクロン単位の精度を繰り返し必要とする微細加工にとっては、微細加工時の環境温度と測定時の環境温度が違えば、品質を決定的に左右する重大事項になりかねません。

例えば、熱膨張率の高い樹脂などの材料では、些細な温度変化によって誤差が出てしまいますので、微細加工時とできるだけ同じ環境の下で測定することが重要です。特に、数十μmの微細穴を数μmのピッチで数千個空けなければならないような微細穴加工においては、温度変化による精度ばらつきはとても大きくなり、この微細加工環境と測定環境を同じにすることは、非常に重要な要素となります。

このような体制をとることで、微細加工ドットコムを運営する中川製作所では極めて精度の高い微細加工を安定して供給できるのです。

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